便攜式多通道壓縮空氣質量檢測儀AQ 500M 檢測壓縮空氣質量-便攜式解決方案 依據ISO 8573檢測壓縮空氣質量：殘油-顆粒-殘余濕度，應用于半導體，潔凈室，無油空壓機等空氣凈化行業
高壓氣體粒子計數器由 LSGY101 高壓氣體粒子計數器主機和 DDS-A 數據 顯示系統兩部分組成。 高壓氣體粒子計數器主機用于監測 40~150 PSIG 壓力氣體中的塵埃粒子的 濃度，最小粒徑檔可達 0.1μm，流量為 2.8L/min（即 0.1cfm）； 數據顯示系統用于接收計數器主機發過來的監測數據，既可顯示各粒徑檔的 計數結果，又可通過網口等通訊接口向終端提供監測結果
在線氣相色譜儀Ka PLUS8000---集質量與性能一身的模塊化氣相色譜 被中國**局認可的等離子放電檢測器***，在氣相色譜和氣體分析領域中具有悠久的創新歷史，是等離子體發射光譜技術和氣相色譜的技術**、創新者。
碳排放分析儀在“雙碳”目標的實現過程中，準確的碳排放計量是指導減排任務分解、考核績效評定、碳市場定價的基礎。計量技術可直接用于碳排放測量、能源測量、自然資源與環境監測等領域，并為碳排放、碳減排、碳**和市場化機制等標準制定提供量值依據。 中國計量科學研究院很早便在國內開展碳排放計量標準的建立、關鍵測量技術研究和測量設備調研等相關工作，并取得國內**、國際**的研究成果。
MIR-FT/P傅里葉紅外光譜儀基于傅里葉紅外法（FTIR）測量原理，用于NO、NO2、NOX、N2O、CO、CO2、SO2、HC、HF、CH4、NH3、H2O、O2等多種不同組分的**測量。該設備可根據排放標準的不斷提高和監測組分的不斷增加而進行不斷升級，以*大限度滿足現在和未來的監測需求。該系統滿足2000/76/EC(WID)和2001/80/EC（LCPD）法規，在符合EN14181
半導體設備真空腔高精度測溫系統Vac.TEMP TS 1、精密測溫NTC傳感器； 2、真空貫通法蘭； 3、精密多通道測溫儀； 4、溫度采集分析軟件DAQ TEMP。
TC Wafer 晶圓有線測溫系統 儀表化晶圓（熱電偶或RTD）適用于半導體加工設備，在這些設備中，了解和控制晶圓表面的溫度至關重要。 TC Wafer晶圓有線測溫系統用于許多行業，包括快速熱處理 （RTP）、快速熱退火 （RTA）、曝光后烘烤 （PEB）、化學氣相沉積 （CVD）、物理氣相沉積 （PVD）、離子注入、太陽能電池和許多其他熱驅動工藝等應用。
無線實時驗證系統，將實時驗證提升到新的高度 Kaye ValProbe RT 系統包含的設計理念，集合了無線實時系統和一個驗證操作控制臺。 操作控制臺是一個堅固的、專用于連接 Kaye ValProbe RT和原來的 Kaye硬件的操作控制臺。其預安裝了所有Kave軟件，并僅用于驗證工作而設計。該理念極大的簡化了軟件的驗證和對不斷變化的電腦、操作系統和核心負載的依賴。Kaye ValProbe
OMS420氧濃度和燃燒效率一體化在線監測系統是基于ZrO2 測量原理，可選擇測量Coe傳感器測量未燃燒的可燃物濃度，組成一個完整的燃燒效率在線監測系統系統測量單元安裝在煙道外面，煙氣通過倒流管引入到測量單元，原煙氣返回煙道。 氧濃度和燃燒效率一體化在線監測系統可選擇定時自動標定功能和自動吹灰功能。
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