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          晶圓有線測溫系統

          更新時間:2026-01-11

          簡要描述:

          RTD Wafer 晶圓有線測溫系統
          儀表化晶圓(熱電偶或RTD)適用于半導體加工設備,在這些設備中,了解和控制晶圓表面的溫度至關重要。

          型號:RTD Wafer點擊量:1862

            免費咨詢:021-59966206

            發郵件給我們:501630350@qq.com

          RTD Wafer 晶圓有線測溫系統

          儀表化晶圓(熱電偶或RTD)適用于半導體加工設備,在這些設備中,了解和控制晶圓表面的溫度至關重要。

          RTD Wafer 晶圓有線測溫系統

          測溫范圍:-40℃至250℃

          電阻器:薄膜鉑

          電阻:0°C時標稱電阻值為1000 Q

          精度:±0.1℃

          測溫點數:1~68個

          傳感器引線:可定制

          可提供絕緣:聚酰亞胺涂覆的銅引線

          測溫探頭接口:DB37

          晶圓材質:硅片,藍寶石,碳化硅等(基材形狀和尺寸可定制)

          晶圓尺寸:50mm,100mm,150mm,200mm,300mm

          真空貫通帶:聚酰亞胺扁平電纜,大氣壓可達10-7Torr(長度由客戶定)


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